sem原理，sem原理图

SEM(扫描电子显微镜)的道理是什么？

改变入射电子束在样品外貌扫描振幅，以得到所需放大倍率的扫描像

SEM(扫描电子显微镜)的道理是什么？

改变入射电子束在样品外貌扫描振幅，以得到所需放大倍率的扫描像

电子扫描显微镜（SEM）的事情道理？

[扫描电子显微镜]

扫描电子显微镜

(scanning electron microscopy，SEM)

扫描电子显微镜是1965年发现的较现代的细胞生物学研究东西，主要是操作二次电子信号成像来调查样品的外貌形态，即用极狭窄的电子束去扫描样品，通过电子束与样品的彼此浸染发生各类效应，个中主要是样品的二次电子发射。二次电子可以或许发生样品外貌放大的描摹像，这个像是在样品被扫描时定时序成立起来的，纵然用逐点成像的要领得到放大像。

扫描电子显微镜的制造是依据电子与物质的彼此浸染。当一束高能的入射电子轰击物质外貌时，被引发的区域将发生二次电子、俄歇电子、特征x射线和持续谱X射线、背散射电子、透射电子，以及在可见、紫外、红外光区域发生的电磁辐射。同时，也可发生电子-空穴对、晶格振动 (声子)、电子振荡 (等离子体)。原则上讲，操作电子和物质的彼此浸染，可以获取被测样品自己的各类物理、化学性质的信息，如描摹、构成、晶体布局、电子布局和内部电场或磁场等等。扫描电子显微镜正是按照上述差异信息发生的机理，回收差异的信息检测器，使选择检测得以实现。如对二次电子、背散射电子的收罗，可获得有关物质微观描摹的信息;对x射线的收罗，可获得物质化学身分的信息。正因如此，按照差异需求，可制造出成果设置差异的扫描电子显微镜。

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SEM机构构成

扫描电子显微镜由三大部门构成：真空系统，电子束系统以及成像系统。

以下提到扫描电子显微镜之处，均用SEM取代

真空系统

真空系统主要包罗真空泵和真空柱两部门。真空柱是一个密封的柱形容器。

真空泵用来在真空柱内发生真空。有机器泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类，机器泵加油扩散泵的组合可以满意设置钨枪的SEM的真空要求，但对付装置了场致发射枪或六硼化镧枪的SEM,则需要机器泵加涡轮分子泵的组合。

成象系统和电子束系统均内置在真空柱中。真空柱底端即为右图所示的密封室，用于安排样品。

之所以要用真空，主要基于以下两点原因：

电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效，所以除了在利用SEM时需要用真空以外，平时还需要以纯氮气或惰性气体布满整个真空柱。

为了增大电子的平均自由程，从而使得用于成象的电子更多。

电子束系统

电子束系统由电子枪和电磁透镜两部门构成，主要用于发生一束能量漫衍极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成象。

电子枪

电子枪用于发生电子，主要有两大类，共三种。

一类是操作场致发射效应发生电子，称为场致发射电子枪。这种电子枪极其昂贵，在十万美元以上，且需要小于10-10torr的极高真空。但它具有至少1000小时以上的寿命，且不需要电磁透镜系统。

另一类则是操作热发射效应发生电子，有钨枪和六硼化镧枪两种。钨枪寿命在30～100小时之间，价值自制，但成象不如其他两种豁亮，常作为便宜或尺度SEM设置。六硼化镧枪寿命介于场致发射电子枪与钨枪之间，为200～1000小时，价值约为钨枪的十倍，图像比钨枪豁亮5～10倍，需要略高于钨枪的真空，一般在10-7torr以上；但比钨枪容易发生太过饱和和热引发问题。

电磁透镜

热发射电子需要电磁透镜来成束，所以在用热发射电子枪的SEM上，电磁透镜必不行少。凡是会装配两组：

汇聚透镜：顾名思义，汇聚透镜用汇聚电子束，装配在真空柱中，位于电子枪之下。凡是不止一个，并有一组汇聚光圈与之相配。但汇聚透镜仅仅用于汇聚电子束，与成象会焦无关。

物镜：物镜为真空柱中最下方的一个电磁透镜，它认真将电子束的核心汇聚到样品外貌。

成像系统

电子颠末一系列电磁透镜成束后，打到样品上与样品彼此浸染，会发生次级电子、背散射电子、欧革电子以及X射线等一系列信号。所以需要差异的探测器譬如次级电子探测器、X射线能谱阐明仪等来区分这些信号以得到所需要的信息。固然X射线信号不能用于成象，但习惯上，仍然将X射线阐明系统分别到成象系统中。

有些探测器造价昂贵，好比Robinsons式背散射电子探测器，这时，可以利用次级电子探测器取代，但需要设定一个偏压电场以筛除次级电子。

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SEM的事情道理

[光学显微镜、TEM、SEM成像道理较量]

光学显微镜、TEM、SEM成像道理较量

SEM 的事情道理是用一束极细的电子束扫描样品，在样品外貌引发出次级电子，次级电子的几多与电子束入射角有关，也就是说与样品的外貌布局有关，次级电子由探测体收集，并在哪里被闪烁器转变为光信号，再经光电倍增管和放大器转变为电信号来节制荧光屏上电子束的强度，显示出与电子束同步的扫描图像。图像为立体形象，反应了标本的外貌布局。为了使标本外貌发射出次级电子，标本在牢靠、脱水后，要喷涂上一层重金属微粒，重金属在电子束的轰击下发出次级电子信号。

电子扫描显微镜(SEM)的事情道理是什么呢？